高精度測定用電鍍層應(yīng)變計式精密應(yīng)力計
高精度測定用電鍍層應(yīng)變計式精密應(yīng)力計

通過傳感器測量基板的應(yīng)變，實時測量鍍層內(nèi)部應(yīng)力。

通過一次測量可以測量各鍍層時間（皮膜厚度）下的應(yīng)力。此外，還可以測量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時的應(yīng)力。可以測量傳統(tǒng)應(yīng)力儀無法測量的微小應(yīng)力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中，插入專用的應(yīng)力計板進行使用。

特長

●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使是微弱的應(yīng)力也可以進行測量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測量。（可從膜厚0.5μm以上進行精密測量）
●也可以測量通過其他方式無法測量的初期應(yīng)力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中，無需計算即可自動計算應(yīng)力值。此外，測量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實時顯示。將被積累起來。

電源及應(yīng)力測量板部的規(guī)格

通過傳感器測量基板的應(yīng)變，實時測量鍍層內(nèi)部應(yīng)力。

通過一次測量可以測量各鍍層時間（皮膜厚度）下的應(yīng)力。此外，還可以測量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時的應(yīng)力。可以測量傳統(tǒng)應(yīng)力儀無法測量的微小應(yīng)力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中，插入專用的應(yīng)力計板進行使用。

特長

●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使是微弱的應(yīng)力也可以進行測量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測量。（可從膜厚0.5μm以上進行精密測量）
●也可以測量通過其他方式無法測量的初期應(yīng)力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中，無需計算即可自動計算應(yīng)力值。此外，測量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實時顯示。將被積累起來。

電源及應(yīng)力測量板部的規(guī)格

通過傳感器測量基板的應(yīng)變，實時測量鍍層內(nèi)部應(yīng)力。

通過一次測量可以測量各鍍層時間（皮膜厚度）下的應(yīng)力。此外，還可以測量一次鍍敷后的膜上再次鍍敷時的應(yīng)力。可以測量傳統(tǒng)應(yīng)力儀無法測量的微小應(yīng)力。在精密電鍍電源YPP系列的插槽中，插入專用的應(yīng)力計板進行使用。

特長

●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使是微弱的應(yīng)力也可以進行測量。適用于薄膜和晶圓等微弱產(chǎn)品的測量。（可從膜厚0.5μm以上進行精密測量）
●也可以測量通過其他方式無法測量的初期應(yīng)力。
適用于微小部件。
●傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到連接到電源的PC中，無需計算即可自動計算應(yīng)力值。此外，測量中的數(shù)據(jù)可以使用電腦實時顯示。將被積累起來。

電源及應(yīng)力測量板部的規(guī)格