半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器

產(chǎn)品型號(hào): ECN型

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器
半導(dǎo)體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命

半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體領(lǐng)域在線高精度測(cè)量高純制藥液加熱器

半導(dǎo)體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器

在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體清洗裝置在線用：?jiǎn)纹逑?、CMP后清洗、藥液預(yù)熱
高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機(jī)溶劑，PFA/PTFE全流路
在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
流路材質(zhì)	PFA + PTFE（高純度，無顆粒）
溫度范圍	0 – 180 ℃（全范圍）
精度	±0.1 K（±0.1 K，PID）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
流量范圍	5 – 500 mL/min（全范圍）
潔凈等級(jí)	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3）
真空接口	NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40）
電源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器）
尺寸/重量	200×150×45 mm，1.9 kg
壽命	5 年（連續(xù)運(yùn)行）

三、功能亮點(diǎn)

PFA/PTFE 高純流路：無顆粒，Class 100，無金屬離子溶出
0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實(shí)時(shí)捕捉
≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
5-500 mL/min 寬流量：?jiǎn)纹逑?20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺(tái)覆蓋
1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動(dòng)，通風(fēng)櫥內(nèi)即用

半導(dǎo)體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器

在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體清洗裝置在線用：?jiǎn)纹逑础MP后清洗、藥液預(yù)熱
高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機(jī)溶劑，PFA/PTFE全流路
在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
流路材質(zhì)	PFA + PTFE（高純度，無顆粒）
溫度范圍	0 – 180 ℃（全范圍）
精度	±0.1 K（±0.1 K，PID）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
流量范圍	5 – 500 mL/min（全范圍）
潔凈等級(jí)	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3）
真空接口	NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40）
電源	DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器）
尺寸/重量	200×150×45 mm，1.9 kg
壽命	5 年（連續(xù)運(yùn)行）