半導(dǎo)體圓晶上粉體附著力的檢測(cè)研究

在半導(dǎo)體行業(yè)中，附著在晶圓上的細(xì)小異物常常是個(gè)問題。

清潔過(guò)程中的第一件重要事情是分析有多少附著力施加在平坦表面上，并跟蹤附著力是否因工藝或生產(chǎn)批次而異。

為了避免幾微米的異物造成的嚴(yán)重破壞，首先需要選擇異物的特性，最重要的是它所附著的平面材料，或者積極開發(fā)表面。

使用 NanoSeeds，可以順利測(cè)量附著在平面和曲面上的異物或產(chǎn)品的附著力（分離力），并快速反饋到生產(chǎn)過(guò)程。

粉層剪切力測(cè)量?jī)xNS-S系列

可以對(duì)原料粉末和中間產(chǎn)品的粉末物理特性（流動(dòng)性、摩擦力、附著力）進(jìn)行高精度和可再現(xiàn)的評(píng)估。它于 2016 年作為 JIS 標(biāo)準(zhǔn)（JIS-Z8835）制定并作為評(píng)估方法制定。是粉末受力（固結(jié)狀態(tài)）物性評(píng)價(jià)的設(shè)備。

-即使只有 1 cc 的粉末量也可以測(cè)量。可以可靠地收集有價(jià)值的樣本。
-一臺(tái)測(cè)量裝置可實(shí)現(xiàn)恒載剪切試驗(yàn)和恒體積剪切試驗(yàn)兩種試驗(yàn)。
- 高精度的 2 軸正交剪切單元系統(tǒng)不會(huì)忽視物理特性的最細(xì)微差異。
-符合 JIS-Z8835。粉體動(dòng)摩擦角CSL和壁面摩擦角WYL可以很容易地得到。
?如果要測(cè)量壁面摩擦系數(shù)，可以從200㎎開始測(cè)量。
- 還可用于評(píng)價(jià)制藥領(lǐng)域的粘連現(xiàn)象。
- 也可以在溫度為 60°C、相對(duì)濕度為 90% RH 的恒溫恒濕箱中進(jìn)行測(cè)量。由于可以對(duì)整個(gè)測(cè)量單元進(jìn)行加熱和加濕，因此樣品上不太可能出現(xiàn)溫度不均勻，并且可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量。
- 可測(cè)量產(chǎn)品的流動(dòng)性，重現(xiàn)性好。
- 可以測(cè)量固體表面（如薄膜和金屬表面）的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)摩擦力。
- 專用測(cè)量軟件與 Windows 兼容。任何人都可以通過(guò)用戶友好的操作輕松地進(jìn)行測(cè)量。

特征

可對(duì)電池、醫(yī)藥品、化妝品等中使用的粉體原料及中間產(chǎn)品的粉體物理特性（動(dòng)摩擦力、靜摩擦力、流動(dòng)性、粘附性）進(jìn)行高精度、高再現(xiàn)性的測(cè)量。
可用于材料壓縮特性評(píng)價(jià)、陶瓷和燒結(jié)材料流動(dòng)性評(píng)價(jià)、調(diào)色劑聚集特性評(píng)價(jià)（剪切力測(cè)量）、藥品造粒、壓片工藝評(píng)價(jià)等。
剪切試驗(yàn)是測(cè)量固結(jié)環(huán)境中流動(dòng)性的*！
可以測(cè)量各種表面的摩擦特性。