多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵

產品名稱: 多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵

產品型號: TS系列

產品特點: 多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵
日本 Unozawa TS 系列是一款“多級羅茨、無油、反向擴散結構"的干式真空泵，主打高耐久性 + 大排氣速度，專為含可凝性蒸氣或粉塵的半導體、光伏、化工等長周期工藝設計。結合 2024-2025 版英文樣本，核心信息如下：
結構特點
多級羅茨轉子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護周期＞20 000 h
反向擴散流路：氣體在泵腔內折返流動，可凝蒸氣被回流冷氣連續

多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵 的詳細介紹

多級羅茨無油反向擴散結構干式真空泵

日本 Unozawa TS 系列是一款“多級羅茨、無油、反向擴散結構"的干式真空泵，主打高耐久性 + 大排氣速度，專為含可凝性蒸氣或粉塵的半導體、光伏、化工等長周期工藝設計。結合 2024-2025 版英文樣本，核心信息如下：

結構特點

多級羅茨轉子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護周期＞20 000 h
反向擴散流路：氣體在泵腔內折返流動，可凝蒸氣被回流冷氣連續稀釋，顯著降低凝結與腐蝕，提高耐化學耐久性
回流冷卻系統：每級壓縮后通過水冷夾套冷卻，排氣溫度＜115 °C，減少聚合物/藥液熱分解沉積，延長清洗間隔

高排氣速度（50 Hz 數據）
| 型號 | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

60 Hz 抽速再提升 10–15 %

無油 & 清潔

泵腔無油，無碳片/無潤滑脂，排氣側無油霧回流，滿足半導體、面板廠對潔凈真空的要求
可選氮氣吹掃口與排氣消音器，用于粉塵或腐蝕性氣體工藝，減少維護頻率

節能 & 噪音

變頻直連電機（可選），根據負荷自動降速，比傳統單級羅茨節電 15–25 %
無齒輪嚙合，運行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，無需隔音罩即可放在潔凈室樓下機房

典型應用

半導體：CVD、ALD、刻蝕腔真空泵，可長期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸氣而不卡死
光伏：PERC/TopCon 刻蝕、PECVD 工段，抗 SiN 粉塵反擴散
化工 & 制藥：溶劑蒸餾、干燥、結晶，可冷凝甲苯、DMF 等有機蒸氣并在線回收

選型 & 訂貨

標準品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 現貨 2–3 周；
若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接機械增壓泵 (TE 系列) 組成干式機組，極限 10?2 Pa 級

一句話總結：TS 系列 = 無油 + 大抽速 + 反向擴散冷卻，專門對付含粉塵/可凝蒸氣的長周期工藝，半導體、光伏、化工用戶可直接用它當主泵，省去油泵及繁重的換油維護。

結構特點

多級羅茨轉子無接觸、無油，省略同步齒輪，維護周期＞20 000 h
反向擴散流路：氣體在泵腔內折返流動，可凝蒸氣被回流冷氣連續稀釋，顯著降低凝結與腐蝕，提高耐化學耐久性
回流冷卻系統：每級壓縮后通過水冷夾套冷卻，排氣溫度＜115 °C，減少聚合物/藥液熱分解沉積，延長清洗間隔

高排氣速度（50 Hz 數據）
| 型號 | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

60 Hz 抽速再提升 10–15 %