小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵

產(chǎn)品名稱: 小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵

產(chǎn)品型號: EM·RV系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵
真空排氣專用 · 加壓供油 · 小型 · 低振動
5-28 m³/h · 極限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移動安裝
一、產(chǎn)品定位
真空排氣專用：半導(dǎo)體、LED、分析儀器、實(shí)驗(yàn)室前級真空
加壓供油：內(nèi)置齒輪泵強(qiáng)制潤滑，高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行不卡死
小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可放通風(fēng)櫥/移動車
EM·RV 系列：EM 經(jīng)濟(jì)型，RV

小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵 的詳細(xì)介紹

小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵

真空排氣專用 · 加壓供油 · 小型 · 低振動
5-28 m3/h · 極限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移動安裝

一、產(chǎn)品定位

真空排氣專用：半導(dǎo)體、LED、分析儀器、實(shí)驗(yàn)室前級真空
加壓供油：內(nèi)置齒輪泵強(qiáng)制潤滑，高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行不卡死
小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可放通風(fēng)櫥/移動車
EM·RV 系列：EM 經(jīng)濟(jì)型，RV 重載型，同頁選型

二、核心技術(shù)參數(shù)（EM·RV 系列）

表格

復(fù)制

型號	抽速	極限真空	重量	尺寸
EM-5	5 m3/h	0.5 Pa	16 kg	297×210×297 mm
EM-10	10 m3/h	0.5 Pa	22 kg	420×297×320 mm
RV-20	20 m3/h	0.5 Pa	35 kg	500×350×380 mm
RV-28	28 m3/h	0.5 Pa	46 kg	600×420×450 mm

表格

復(fù)制

通用參數(shù)
原理	單級油旋片 + 加壓供油（齒輪泵）
加壓供油	0.3 MPa 強(qiáng)制循環(huán)，高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行
油類型	VG-68 高耐磨油（ANLET 專用）
極限真空	0.5 Pa（0.005 Torr）
最大允許壓力	0.1 MPa（abs）
油逆流防止	內(nèi)置電磁閥（可選）
冷卻方式	空冷（強(qiáng)制風(fēng)扇）
進(jìn)氣口	NW16 / NW25 / NW40（型號對應(yīng)）
排氣口	寶塔 Φ10 mm（可轉(zhuǎn) NW16）
電源	單相 200 V 50/60 Hz，功率 0.37 – 1.5 kW
噪聲	≤ 58 dB(A) @ 50 Hz（1 m）
振動	< 2.3 m/s2（無需減振墊）
壽命	30,000 h（連續(xù)運(yùn)行）

三、功能亮點(diǎn)

0.5 Pa 極限：比同級泵極限低 50 %，適合高真級
加壓供油：0.3 MPa 強(qiáng)制循環(huán)，24 h×365 d 連續(xù)運(yùn)行不卡死
小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可手提移動
空冷無水管：并排安裝，產(chǎn)線無需冷卻水改造
< 2.3 m/s2 低振動：可直接放樓層/潔凈室，無需地基減振
≤ 58 dB 低噪音：比水冷泵低 10 dB，24 h 運(yùn)行不擾人

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制

半導(dǎo)體前級真空┌─ 工藝腔體 ─┐│               │進(jìn)口← EM-10 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

泵進(jìn)口接工藝腔體，0.5 Pa 極限，抽氣時(shí)間縮短 30 %
粉塵過濾器捕集微粒，延長泵壽命

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）

工藝腔體 50 L，室溫 25 ℃
EM-10 50 Hz 運(yùn)行：

2 min 達(dá)到 10 Pa
5 min 極限 0.5 Pa
連續(xù) 8 h 油溫 <70 ℃，無冷卻水
振動 < 2.3 m/s2（天平無漂移）

六、選型與配件

表格

復(fù)制

件號	說明
EM-10-200	200 V 單相標(biāo)準(zhǔn)型
EM-10-EX	防爆型 Ex d IIB T4（可選）
EM-10-CT	溶劑冷阱套件（玻璃+干冰）
EM-10-NW25	NW25 快接法蘭套件